使用专利光延迟调制器(PEM)技术,该系统提供最高规格双折射灵敏度。此外,PEM提供高速操作,以50/60KHz的速度进行调制。高灵敏度与高重复精度的特性,很容易实现亚纳米级的双折射延迟量测量。
便捷快速的操作而设计
仪器自带一个140x190mm(可定制其他尺寸)的光学样品台,可以通过手动或自动方式设定扫描区域。将样本放置到样品台后,可以通过软件的图形界面进行直观的设置与测量。用户界面软件能够显示延迟值和快轴角度,并且能在扫描模式下提供二维的延迟分布信息。
应用
质量控制
低延迟的双折射测量:
光滑玻璃
其他透明光学元件
激光晶体
光刻组件的质量验证:
光掩膜
熔石英光学元件
氟化钙镜片毛坯和窗口
主要特点
在低延迟双折射测量中可同时测量双折射延迟幅度和角度
精确度可重复性
高速测量(60pps)
无需移动被测样品
可自由设定测量区间范围
主要参数

4寸蓝宝石衬底片测样图:

