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一、广泛应用的微透镜阵列
微透镜是一种常见的微光学元件，通过设计微透镜，可对入射光进行扩散、光束整形、光线均分、光学聚焦、集成成像等调制，进而实现许多传统光学元器件难以实现的特殊功能。
微透镜阵列（Microlens Array，MLA ）是由数十个或数千万个通光孔径及浮雕深度为微米级的微透镜，按照特定排列而成的阵列。通过调整阵列中微透镜的形状、焦距、排布结构方式、占空比（填充因子）等，我们就可以实现特定光学功能。根据对光束调制原理的不同，可分为衍射微透镜、折射型微透镜、混合（菲涅尔）微透镜和超透镜。
二、客户需求
晶圆MLA全检如何又快又准
全球材料、网络和激光领域的全球领导者之一某国际品牌，其福州工厂需要为了一批晶圆MLA产品进行全检，需要引入多台“满足检测精度同时，实现检测效率快速提升”的自动化检测设备。
MLA的产品属性决定了检测量，一张8寸晶圆片上面大约包含了10000+的微透镜，评价微透镜阵列的指标包含有曲率半径（ROC）、表面粗糙度（Ra/Sa等）、非球面K值、表面轮廓偏差（SPD）、透镜间距（Pitch）等。微透镜的尺寸是微米级，而表面粗糙度（Ra/Sa等）则是纳米级。
对检测设备而言，效率和精度大多数都是相对矛盾对比的指标。如何在满足检测精度要求下，对晶圆MLA进行全量的快速检测，这不仅考验设备的精度，更考验其数据处理软件的效率与自动化的能力。
三、方案
晶圆3D自动量测NX230系列
单颗透镜10s速检，总效率提升75%
